SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展(cānzhǎn)2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆(hàoguǎn)14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用(yìngyòng)，共探制程优化(yōuhuà)新路径。 172nm MINI实验模组 新品(xīnpǐn)首发 本次展会，广明源将首发推出(tuīchū)自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备(jùbèi)结构精简、成本可控、桌面即放(jífàng)即用、便携灵活等特点(tèdiǎn)，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效分解晶圆(jīngyuán)表面有机(yǒujī)残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面(zhuōmiàn)级准分子实验新体验 由于传统准分子光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验(shíyàn)(shíyàn)。广明(guǎngmíng)源创新推出紧凑(jǐncòu)台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小(dàxiǎo)，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构(jīgòu)轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细(wēixì)清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄(gòngxiāng)盛会 除新品发布外，广明源还将展出(zhǎnchū)多款172nm准分子系列(xìliè)光源与模组(mózǔ)产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列(xìliè)光源 172nm准分子系列(xìliè)模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体(bàndǎotǐ)制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业(hángyè)伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在(zài)半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会 时间(shíjiān)：2025年6月4-6日 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费(xiāofèi)建议。对文章事实有疑问，请与有关方(fāng)核实或与本网联系。文章观点(guāndiǎn)非本网观点，仅供读者参考。）